真空是指在給定的空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態，是一種物理現象。事實上，在真空技術里，真空系針對大氣而言，一特定空間內部之部份物質被排出，使其壓力小于一個標準大氣壓，則通稱此空間為真空或真空狀態。而工業上的真空則指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態，又可分為高真空、中真空和低真空。在現代許多高精密度的產品在制造過程中的某些階段必需真空使用程度不一的真空才能制造，如半導體、硬盤、鏡片。下面工采網小編說說空氣質量流量傳感器在低真空控制中的氣體流量測量相關應用。

真空氣體流量的測量常見于需要真空氣流的過程， 如寬范圍濕度的發生過程， 卷煙的生產過程及大氣環境的模擬過程等。在真空氣體流量的測量時流量調節過程中， 調節閥必不可少。真空狀態下， 流經調節閥的流量幾乎完全由閥前、后壓力、氣流溫度四個變量決定。因此。真空狀態下， 氣體流量的測量具有如下特點 ：

（1） 流量密度小， 限制了渦街流量計與超聲流量計的正常使用。對于前者相應的氣流推力過小，對于后者則會產生阻抗匹配的困難。

（2） 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計后增大了阻力， 產生較大的壓損將使動力損耗大大增加， 不利于節能。因而孔板流量計、渦輪流量計、容積式流量計等均不適用。

（3） 流量計在負壓管道上安裝后， 如果存在泄漏很難覺察， 不僅會浪費動力， 而且會嚴重破壞內部氣體環境。

空氣質量流量傳感器在真空控制中的氣體流量測量

霍尼韋爾Honeywell 空氣質量流量傳感器 － AWM3300V輸出電壓在50mV： AWM3000 系列是輸出為1－5V 或4～20mA的氣體質量流量傳感器 。激光校整保證了互換性。測量流速可至1．0LPM 。能承受共膜壓力為25PSI 。

霍尼韋爾Honeywell 空氣質量流量傳感器 AWM3300V 特點：

激光微調提高傳感器的互換性

流量傳感高達1．0 SLPM

低差壓傳感

霍尼韋爾Honeywell 空氣質量流量傳感器 AWM3300V 參數：