繼全國首條8英寸MEMS研發中試線落地上海嘉定工業區后，近日，由國家智能傳感器創新中心（以下簡稱“創新中心”）建設的國內首條12英寸先進傳感器研發中試線，也在嘉定成功通線。

圖源網絡（芯研所采編）

芯研所7月4日消息，隨著上海市加快推進城市數字化轉型，物聯感知網絡越織越密，先進傳感器產業蓬勃發展。“面向新興技術發展和市場應用需求，創新中心將在12英寸中試線持續開發新材料、新工藝、新器件等關鍵共性技術，重點突破光學、聲學、力學等先進傳感器的核心工藝，并推動相關產品及應用的產業化。”創新中心相關負責人表示，未來，將重點搭建共性技術平臺，專注于先進傳感器特色工藝研發和中試。

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該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，可提供產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。

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目前，創新中心已聯合中國傳感器與物聯網產業聯盟的1000余家企業開展共性技術研發，形成的“產、學、研、用”協同創新機制，將加速國內先進傳感器及相關應用的核心技術發展，推動智能傳感、物聯網、人工智能的生態體系建設。

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硅片一旦沾染微塵，就可能失效，因此中試線必須在無塵室下作業，而這種高標準廠房的建設要求極高，其中，最為嚴苛的是十級潔凈室，即一分鐘內每立方英尺的空間內大于0.2微米的微塵必須少于10顆。為此，嘉定區相關部門第一時間為該項目尋找合適的廠房，并跟蹤服務整個項目進程。

嘉定區科委主任謝東升表示，加快建設國內首條12英寸先進傳感器中試線，有利于打造一個集研發、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，推進區域內產、學、研、用的協同發展。“以研發中試線為支點，可以撬動更多創新企業和高層次人才團隊來到嘉定，開展產品技術研發。通過整合區內產業孵化器、產業基金等資源，助力嘉定打造千億級智能傳感器及物聯網產業。”

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2021年1-5月，嘉定區智能傳感器及物聯網產業總產出99.6億元。目前，嘉定區內已集聚智能傳感器及物聯網企業超200家，初步覆蓋產業鏈上中下游各環節，擁有國家集成電路材料技術創新中心等7個公共服務性平臺以及2個集成電路基金。