半導(dǎo)體制程持續(xù)微縮，量產(chǎn)技術(shù)已達(dá)14納米，半導(dǎo)體大廠更朝10納米、7納米邁進(jìn)，連5納米也在規(guī)劃中。然而，在制程良率的提升上，半導(dǎo)體業(yè)者卻可能面臨“看不見”的難題。中國臺灣地區(qū)工研院與臺積電合作開發(fā)的“新世代溶液中納米微粒監(jiān)控系統(tǒng)”，就是這雙新眼睛。

在半導(dǎo)體濕式制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學(xué)溶液進(jìn)行，而溶液中納米粒子的尺寸與分布會影響晶圓電路圖案（pattern）的制程結(jié)果，因此必須持續(xù)監(jiān)控溶液中粒子大小及數(shù)量，只要發(fā)現(xiàn)溶液粒子不符規(guī)格，就要馬上暫停及更換，以維持產(chǎn)品良率。

臺灣工研院量測技術(shù)發(fā)展中心何信佳博士指出，傳統(tǒng)的雷射光學(xué)設(shè)備“看不到”化學(xué)溶液中40納米以下的微粒，因此，半導(dǎo)體業(yè)者需擁有一雙能真正看得到更小微粒的“新眼睛”。

臺積電想利用量測氣體粒子的方法量測制程化學(xué)溶液，且必須能夠24小時連續(xù)在產(chǎn)線上進(jìn)行監(jiān)測。臺積電先是向美國知名研發(fā)機構(gòu)NIST求援，該機構(gòu)專家轉(zhuǎn)而向臺積電推薦曾在2010年前往NIST研究的何信佳。